JSR마이크로코리아(주), 충북 청주시에 차세대 반도채소재 공장 건설

첨단기술 도입한 EUV 레지스트 공장… 2026년 상반기 준공 목표

【청주일보】 김익환 기자 = JSR마이크로코리아㈜가 청주시 오창과학산업단지 외국인투자구역에 반도체 첨단 EUV 레지스트 공장을 건설한다.JSR마이크로코리아㈜는 12일 오후 신공장 건설현장에서 기공식을 개최했다.

기공식에는 이범석 청주시장, 김영환 충북도지사, 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아(주) 대표이사 등 주요 인사들이 참석했다.

신공장은 차세대 반도체 소재 생산 공장으로, 2천㎡ 규모 면적에 건립된다. 2026년 상반기 준공을 목표로 한다.

JSR마이크로코리아㈜는 신공장이 완성되면 제품생산 공정에 차세대 극자외선(EUV) 포토레지스트 MOR 기술을 적용해, ‘금속산화물레지스트(MOR‧Metal Oxide Resist) 포토레지스트’를 생산할 예정이다.

MOR 포토레지스트는 반도체 제조기술 중 하나인 노광공정(포토리소그래피)에 사용되는 재료다. 메모리 및 로직반도체 등 고밀도‧고성능 칩 제조에 필수적인 소재여서 일본과 미국에서도 각광받을 전망이다.

2003년 오창 외국인투자지역에 1호로 입점기업인 JSR마이크로코리아㈜는 디스플레이 소재 분야에서 세계적인 기술력을 인정받고 있다. 이번 공장 설립으로 반도체 소재 기술력과 글로벌 시장 점유율을 더욱 확장할 계획이다. 

청주시의 적극적인 지원과 긴밀한 협력으로 이뤄낸 성과인 만큼 청주시가 반도체 산업의 핵심거점으로 도약하는 데 중요한 역할을 할 것으로 기대된다.

이범석 청주시장은 “JSR마이크로코리아㈜ 신공장 건설은 청주시가 첨단기술력과 인프라를 확보하는 데 큰 역할을 할 것으로 기대된다”며 “적기에 완공될 수 있도록 필요한 모든 지원을 아끼지 않겠다”고 밝혔다.